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度亘激光技术-高端半导体激光芯片生产项目基本情况

日期:2019-05-25   作者:盛世华为
点击率:

一、建设项目基本情况

项目名称

度亘激光技术(苏州)有限公司新建高端半导体激光芯片生产项目

建设单位

度亘激光技术(苏州)有限公司

法人代表

赵卫东

通讯地址

苏州工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城19

建设地点

苏州工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城19

原辅材料(包括名称、用量)及主要设施规格、数量(包括锅炉、发电机等)

本项目主要原辅料及理化性?#22987;?#19979;表1-1和表1-2。项目主要生产设备见表1-3

水及能源消耗量

  

消耗量

  

消耗量

水(吨/年)

12734

燃油(吨/年)

/

电(万千瓦时/年)

200

?#35745;?#26631;立方米/年)

/

燃煤(/)

/



废水(工业废水生活废水)排水量及排放去向

本项目生产废水经废水处理系统预处理后部分回用,部分(5694t/a)处理达标后接市政污水管网进入园区污水处理厂处理达标后排放,生活污水(3000t/a),接市政污水管网进入园区污水处理厂处理达标后排放。

放射性同位素和伴有电磁辐射的设施的使用情况

 

 

半导体产?#24223;?#20851;?#38382;?#21442;考) 


名称

规格

年消耗量

最大存储量

单位

包装规格

来源及运输



外延片生产原辅料

GaAs基片

?#26412;?span style="font-family:Times New Roman">4英寸

7000

1000

25×30盒,外延厂房

国外、海陆



氢气

气态,99.99%

15

/

t

气站

依托出租方气站



氮气

液态,99.99%

75

/

t

气站

依托出租方气站



砷烷

气态,99.99%

36

27

kg

27kg/瓶,特气库

国外、海陆



磷烷

气态,99.99%

15

20

kg

20kg/瓶,特气库

国外、海陆



硅烷

气态,99.99%

36

30

kg

30kg/瓶,特气库

国外、海陆



三甲基铝

液态99.99%

10

1

Kg

200g/瓶,化学品库

国外、海陆



三甲基镓

液态,99.99%

10

4

kg

4kg/瓶,化学品库

国外、海陆



三甲基铟

固态,99.99%

10

2

kg

400g/瓶,化学品库

国外、海陆



H2Se

99.99%

5

30

kg

30kg/化学品库

国外、海陆



高功率激光晶圆

外延片

依图纸设计

2000

500

原料

国内、陆运



氨气

99.99%气体

3.6

22.7

kg

22.7kg/

国外、海陆



四氟化碳

99.99%气体

4

30

kg

30kg/

国外、海陆



六氟化二碳  C2F6

99.99%气体

2

30

kg

30kg/

国外、海陆



氩气

99.99%气体

4

19.2

Kg

19.2kg/

国内、陆运



氦气

99.99%气体

1.5

1.92

kg

1.92kg/

国外、海陆



三氟甲烷

99.99%气体

2

30

kg

30kg/

国外、海陆



六氟化硫

99.99%气体

2

50

kg

50kg/

国外、海陆



一氧化二氮

99.99%气体

2.7

27

kg

27kg/

国内、陆运



氯气

99.99%气体

5

50

kg

50kg/

国外、海陆



三氯化硼

99.99%气体

5

50

kg

50kg/

国外、海陆



丙酮

99.99%液态

7000

500

Kg

4.25kg/

国外、海陆



NMP

99999%液态

8000

500

kg

4kg/

国内、陆运



异丙醇

99.99%液态

7000

500

kg

3.1kg/

国外、海陆



盐酸

37%

1500

500

kg

4.7kg/

国外、海陆



硫酸

液体98%

200

20

kg

7.3kg/

国内、陆运



双氧水

液体28%

1000

100

kg

4.5kg/

国内、陆运



氨水

液体30%

1000

100

kg

4kg/

国内、陆运



BOE

HF:NH4OH=1:7

200

20

kg

4kg/

国内、陆运



无水乙醇

液体99.99%

510

50

kg

3.2kg/

国内、陆运



显影液

液体99.99%

1000

100

kg

4kg/

国内、陆运



光刻胶

液体99.99%

50

5

kg

1kg/

国内、陆运



增粘剂(HMDS

液体99.99%

20

5

kg

1kg/

国内、陆运



固体,99.99%

336

100

g

100g/

国内、陆运



固体,99.99%

720

100

g

100g/

国内、陆运



固体,99.99%

2256

100

g

100g/

国内、陆运



固体,99.99%

100

100

g

100g/

国内、陆运



固体,99.99%

200

100

g

100g/

国内、陆运



石蜡

固体

40

20

kg

10kg/

国内、陆运



研磨液

液体

1000

100

kg

200kg/

国内、陆运



抛光液

液体

300

30

kg

200kg/

国内、陆运



亚硫酸金钠溶液

液体

230

50

L

50L/

国内、陆运



纯水

--

450

/

m3

/

自制



自来水

--

2100


m3

/

市政供水



能源

--

200


KWh

/

市政供电



名称

理化性质

毒理性质

防护要求与?#26412;?#25514;施

硫酸

H2SO4

纯品为无色透明油状液体,无臭。熔点:10.5,沸点:330.0,蒸汽压:0.13kPa(145.8),相对密度(=1)1.83,相对密度(空气=1)3.4。与水混溶。

8.1类酸性腐蚀品(81007)

LC50510mg/m3
2小时(大鼠吸入)

可能接触其蒸气或烟雾时,必须佩戴防毒面具或供气式头盔;紧急事态抢救或逃生时,建议佩带自给式呼吸器;戴化学安全防护眼镜;穿工作服(防腐材料制作);戴橡皮手套;工作后,淋浴更衣;单独存放被毒物污染的衣服,洗后再用。保持良好的卫生习惯。

【皮肤接触】脱去污染的衣着,立即用水冲洗至少15分钟。或用2%碳酸氢钠溶液冲洗。就医。【眼睛接触】立即提起眼睑,用流动清水或生理盐水冲洗至少15分钟。就医。【吸入】迅速脱离现场?#37327;?#27668;新鲜处。呼吸困难时给输氧。给予2-4%碳酸氢钠溶液雾化吸入。就医。【食入】误服者给牛奶、蛋清、?#21442;?#27833;等口服,不可催吐。立即就医。

盐酸

HCl

外观与性状:无色或微黄色发烟液体,有刺鼻的酸味。熔点():-114.8(纯);沸点():108.6(20%);相对密度(水=1):1.20;相对蒸气密度(空气=1):1.26;饱和蒸气压(kPa):30.66(21);溶解性:与水混溶,溶于碱液。主要用途:重要的无机化工原料,广泛用于染料、医药、?#31216;貳?#21360;染、皮革、冶金等行业。

/

【皮肤接触】立即用水冲洗至少15分钟。或用2碳酸氢钠溶液冲洗。若有灼伤,就医治疗。【眼睛接触】立即提起眼睑,用流动清水冲洗10分钟或用2碳酸氢钠溶液冲洗。【吸入】迅速脱离现场?#37327;?#27668;新鲜处。呼吸困难时给输氧。给予2-4碳酸氢钠溶液雾化吸入。就医。【食入】误服者立即漱口,给牛奶、蛋清、?#21442;?#27833;等口服,不可催吐。立即就医。

灭火方法:雾状水、砂土。

双氧水

H2O2

无色透明液体,有微弱的特殊气味。熔点:-2(无水),沸点:158(无水),蒸汽压:0.13kPa(15.3),相对密度(=1)1.46(无水)。溶于水、醇、醚,不溶于苯、石油?#36873;?/span>

5.1类氧化剂(51001)

LD504060mg/kg
(大鼠经皮)

LC502000mg/m34小时(大鼠吸入)

可能接触其蒸气时,应该佩戴自吸过滤式防毒面具(全面罩);呼吸系统防护中已作防护;穿聚乙烯防毒服;戴氯丁橡胶手套;工作现场严禁吸烟;工作毕,淋浴更衣。注意个人清洁卫生。

【皮肤接触】脱去被污染的衣着,用大量流动清水冲洗。【眼睛接触】立即提起眼睑,用大量流动清水或生理盐水彻底冲洗至少15分钟。就医。【吸入】迅速脱离现场?#37327;?#27668;新鲜处。保持呼吸道通畅。如呼吸困难,给输氧。如呼吸停止,立即进行人工呼吸。就医。【食入】饮足量温水,催吐,就医。

丙酮

CH3COCH3

无色透明易流动液体,有芳香气味,极易挥发。熔点:-94.6(无水),沸点:56.5(无水),蒸汽压:53.32kPa(39.5),闪点:-20,相对密度(=1)0.80,相对密度(空气=1)2.00。与水混溶,可混溶于乙醇、乙?#36873;?#27695;仿、油类、烃类等多数有机溶剂。

3.1类低闪点液体(31025)

LD505800mg/kg
(大鼠经口)

空气?#20449;?#24230;超标时,佩戴过滤式防毒面具(半面罩);一般不需要特殊防护,高浓度接触时可戴化学安全防护眼镜;穿防静电工作服;戴橡胶手套;工作现场严禁吸烟;注意个人清洁卫生;避免长期反复接触。

【皮肤接触】脱去被污染的衣着,用肥皂水和清水彻底冲洗皮肤。【眼睛接触?#21051;?#36215;眼睑,用流动清水或生理盐水冲洗。就医。【吸入】迅速脱离现场?#37327;?#27668;新鲜处。保持呼吸道通畅。如呼吸困难,给输氧。如呼吸停止,立即进行人工呼吸。就医。【食入】饮足量温水,催吐,就医。

三甲基镓

Ga(CH3)3

在常温常压下为无色透明有毒液体。熔点:-15.8,沸点:55.8闪点:-18,蒸气压:37.0kPa(30),液体密度(15100kPa)1151kg/m3,气体密度:4.0kg/m3。在已烷、庚烷等脂肪族饱和烃和甲苯、二甲苯等芳香族烃中以任何比例相溶,与水激烈反应放出甲烷气。在空气中易氧化,在室温自燃,燃烧时发出金属氧化物白烟。高温时自行分解。

三甲基镓接触皮肤能引起组织破坏和烧伤。三甲基镓的燃烧产物氧化物白烟,能刺激和腐蚀眼、皮肤和呼吸道粘膜,损伤支气管、肺和肾,?#29616;?#26102;可引起肺水肿。

贮液?#21046;?#20869;的液面要用N2Ar等惰性气体保护。容器及用气设备装置必须事先烘干,抽真空,用惰性气体清洗,赶出空气和水分。经探漏,在确保密封的情况下使用。

三甲基着火时,灭火比较困?#36873;?#19968;般是用干粉、干砂、二氧化碳和砾石来控制火势,防止火灾蔓延到别处,直至其完全燃烧掉。绝不可用水、泡沫和卤代烃灭火剂。

?#27604;?#30002;基镓泄漏时,首先要切断所有火源,然后用不燃性分散剂制成的乳?#26009;?#21047;,或用干燥砂土吸收后拿到空旷地方掩埋。污染的地面要用肥皂或洗涤?#26009;?#21047;,洗水经稀释后排入废水系统。

三甲基铝

Al(CH3)3

在常温常压下为无色透明液体。无色液体,熔点:15,沸点:126,闪点:-18,密度:0.752g/cm3。溶于乙?#36873;?#39281;和烃类等有机溶剂。反应性极强。空气中自燃,瞬间就能着火。与具有活性氢的酒精类、酸类激烈反应。与水反应激烈,既使在冷水中也能产生爆炸性分解反应,并生成甲烷,有时还能发火。

接触皮肤能引起组织破坏和烧伤。在空气中自燃时发出对人体有害的氧化铝烟雾,能刺激和腐蚀眼、皮肤和呼吸道粘膜,?#23435;?#20837;后气管?#22836;问?#25439;伤,?#29616;?#26102;能引起肺水肿。

着火时,一般的对策是先切断所有火源,隔绝其它可燃物,用干粉、干砂、二氧化碳、砾石等来控制火势,使火灾不蔓延到别处。绝不能使用泡沫及四氯化碳等卤代烃灭火剂。

?#27604;?#30002;基铝泄漏时,首先要切断所有的火源,然后用不燃性分散剂制成的乳剂刷洗。如果没有分散剂,可用干燥砂土吸收后拿到空旷处掩埋,或者用苏打粉混合泄漏液后放在空旷处的大钢盘上,上面用废木料或纸盖住,并在严格监?#36739;?#28903;掉。受污染的地面要用肥皂或洗涤?#26009;?#21047;,洗水经稀释后排入废水系统。

三甲基铟

In(CH3)3

在常温常压下为无色透明具有特殊臭味的升华性无色结晶。熔点:89,沸点:135.8,蒸气压:0.960kPa(30)。与?#21644;欏?#24218;烷等脂肪族饱和烃,甲苯、二甲苯等芳香族烃以任意比例相溶。遇冷水部分水解放出甲烷气体。空气中自燃。具有毒性、对眼睛、呼吸道有刺激性,可致肺水肿,皮肤接触可被灼伤。

 

H2

无色无味气体。熔点:-259.2,沸点:-252.8,蒸汽压:13.33kPa(-257.9),闪点:<-50,相对密度(=1)0.07(-252),相对密度(空气=1) 0.07。不溶于水,不溶于乙醇、乙?#36873;?/span>

2.1类易?#35745;?#20307;(21001)

/

呼吸系统一般不需要特别防护,高浓度接触时可佩带空气呼吸器;眼睛一般不需要特别防护;穿防静电工作服;戴一般作业防护手套;工作现场严禁吸烟;避免高浓度吸入;进入罐、限制性空间或其它高浓度区作业,须有人监护。

【吸入】迅速脱离现场?#37327;?#27668;新鲜处。保持呼吸道通畅。如呼吸困难,给输氧。如呼吸停止,立即进行人工呼吸。就医。

N2

无色无臭气体。熔点:-209.8,沸点:-195.6,蒸汽压:1026.42kPa(-173),相对密度(=1)0.81(-196),相对密度(空气=1) 0.97微溶于水、乙醇。

2.2类不?#35745;?#20307;(22005)

/

呼吸系统一般不需特殊防护;当作业场所空气中氧气浓度低于18%时,必须佩戴空气呼吸器、氧气呼吸器或长管面具;眼睛一般不需特殊防护;穿一般作业工作服;戴一般作业防护手套;避免高浓度吸入;进入罐、限制性空间或其它高浓度区作业,须有人监护。

【吸入】迅速脱离现场?#37327;?#27668;新鲜处。保持呼吸道通畅。如呼吸困难,给输氧。呼吸?#22902;?#20572;止时,立即进行人工呼吸和胸外心脏按压术。就医。

NH3

无色有刺激性恶臭的气体。熔点:-77.7,沸点:-33.5,蒸汽压:506.62kPa(4.7),相对密度(=1)0.82(-79),相对密度(空气=1) 0.6。易溶于水、乙醇、乙?#36873;?/span>

2.3类有毒气体(23003)

LD50350mg/kg
(大鼠经口)

LC501390mg/m34小时(大鼠吸入)

空气?#20449;?#24230;超标时,建议佩戴过滤式防毒面具(半面罩);紧急事态抢救或?#38450;?#26102;,必须佩戴空气呼吸器;戴化学安全防护眼镜;穿防静电工作服;戴橡胶手套;工作现场严禁吸烟、进食和饮水;工作毕,淋浴更衣;保持良好的卫生习惯。

【皮肤接触】立即脱去被污染的衣着,应用2%硼酸液或大量流动清水彻底冲洗。就医。【眼睛接触】立即提起眼睑,用大量流动清水或生理盐水彻底冲洗至少15分钟。就医。【吸入】迅速脱离现场?#37327;?#27668;新鲜处。保持呼吸道通畅。如呼吸困难,给输氧。如呼吸停止,立即进行人工呼吸。就医。

砷烷

AsH3

无色、剧毒、可?#35745;?#20307;,有大蒜气味。熔点:-116.9,沸点:-62.5,气体密度:3.24g/L(20),液体密度:1339kg/m(20),水中溶解度:0.07 g/100 ml (25 °C)

LC50:250 mg/m310分钟(小鼠吸入)

迅速?#38450;?#27844;漏污染区人员至上风处,并立即隔离450m,严格限制出入。切断火源。建议应急处理人员戴自给正压式呼吸器,穿防毒服。尽可能切断泄漏源。合理通风,加速扩散。喷雾状水稀释、溶解。构筑围堤或挖坑收容产生的大量废水。如有可能,将漏出气用排风机送?#37327;?#26103;地方或装设适当喷头烧掉。漏气容器要?#21672;?#22788;理,修复、检验后再用。【吸入】:迅速脱离现场?#37327;?#27668;新鲜处。保持呼吸道通畅。如呼吸困难,给输氧。如呼吸停止,立即进行人工呼吸。就医。

磷烷

PH3

无色、剧毒气体,有鱼腥臭气味。熔点:-134,沸点:-87.8,气体密度:1.379g/L25),水中溶解度:31.2mg/100ml(17 C)

LC50: 380mg/m32小时(小鼠吸入)

迅速?#38450;?#27844;漏污染区人员至上风处,并立即隔离450m,严格限制出入。切断火源。建议应急处理人员戴自给正压式呼吸器,穿防毒服。尽可能切断泄漏源。合理通风,加速扩散。喷雾状水稀释、溶解。构筑围堤或挖坑收容产生的大量废水。如有可能,将漏出气用排风机送?#37327;?#26103;地方或装设适当喷头烧掉。漏气容器要?#21672;?#22788;理,修复、检验后再用。【吸入】:迅速脱离现场?#37327;?#27668;新鲜处。保持呼吸道通畅。如呼吸困难,给输氧。如呼吸停止,立即进行人工呼吸。就医。

类型

使用工序

设备名称

型号及规格

数量(台/套)


生产设备

外延片生产

外延炉

Aixtron 2800

2


高功率激光晶圆

光刻机

/

2


清洗台

/

2


等离子体化学气相沉积

/

2


干法蚀刻机

/

1


金属镀膜机

/

2


减薄抛光机

/

1


快速退火炉

/

1


涂胶台

/

1


显影台

/

1


解离机

/

1


腔面镀膜机

/

1


测试系统

/

1


热板

/

1


公辅设备

辅助工程

空压机

/

1


冷却塔

/

1


纯化水制备系统

/

1


环保工程

Mocvd尾气处理设备

/

1


酸洗设备

/

1


碱洗设备

/

1


活性炭吸附塔

/

1


 

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